『产品介绍』:
光罩技术的GM超高精度影像式测量仪系列,为七海之光罩技术制造而成,此技术已获美国、台湾及大陆等地区的发明和创新。此类机种的精度几乎不受机械误差及阿贝误差影响,尤其是X、Y轴行程在600mm × 500mm以上的机型,无论是XY轴向精度,还是XY平面坐标精度皆能在5μ内,其精准度比所有百万价值内的德国、日本或其它国外进口的机器更精准。
『参数』:
重现性 < 0.002mm
台面大小 700*650mm
解析力标准 0.001mm
机台重量 750kg(包括机架)
平面精度 3.5+5L/1000μm
影像放大倍率 20x-120x 30x-225x
示值精度(X、Y) 3+5L/1000μm
光学放大倍率 0.65X-4.5X
工作行程(X/Y/Z) 600*500*200mm 1000*800*200mm
CCD 彩色1/3英寸高解析480TV线
外形尺寸(WxDxH) 1250*808*1680mm
可选配置 无死角旋转灯
测量范围(X*Y*Z) 600*500*100mm
工作行程 811*1250*1680mm
影像摄取系统 sony芯片高解析彩色CCD
测量理论 晶元光罩坐标系统
镜头 SEVEN OCEAN OPTICAL 自动变焦镜头
控制系统 全自动闭环控制系统,日本松下PANASONIC伺服闭环控制系统
工作台结构 00级花岗岩
仪器结构 00级花岗岩
电源 220V 50±5HZ 功率 1KV
温度范围 20±5℃ 1℃/h 2℃/24h 1℃/m
湿度 40%-70%
震动 < 30HZ
工作台承重 3-5KG均布
『:晶元光罩技术——多国发明』:
◇ 纯软件工作平台
◇ 特殊光学技术无阿贝误差
◇ 非龙门式大型外架设计,动量降至,无刚性不足与运动迟滞之问题
◇ 平面坐标测量
◇ 不需要光栅尺、不需要编码器
『专业测量软件』:
※ CNC电动桌面(以软件功能控制工作台面,增加操作人员使用上及操作上的方便性)
※ 有强大的环形、矩形阵列功能, 并能运行CNC自动测量。
※ CNC自动测量编程:可以自定义控制表面光(上灯光源)、穿透光(底光)、各种角度光(旋转灯)、CCD对比度来做CNC自动测量,避免了以前用底光做CNC的局限性。
※ CNC自动测量编程:可以编程有高度差的测量,并且可以自定义客户坐标进行编程与保存。
※ 存档照片输入与实时影相中的实际工件进行对比功能
※ 实时影像中可任意设置坐标原点(0,0)
※ 输出到AutoCAD图形自动摆正功能
※ 可输入AutoCAD的标准工程图进入实时影像中与实际工件对比功能
※ 鸟瞰功能:可检视当前绘图位置
※ 直接用键盘输入圆及线段功能
※ 直接画线、圆、弧时,可以同时在AutoCAD及本测绘仪软体中同时生成相应的图形
※ 强大的去毛刺功能,可以自动抓取线、圆、弧,减少人为测量造成的误差。
※ 智慧型取R角功能
※ 测量系统:对 物体的长宽及 线、圆、弧、角度等进行测量与标注
※ 绘图系统:画线、圆、弧及线段之垂直线、水平。
※ 亦可修改图形,并将图形输入到AutoCAD
※ 图形输入到AutoCAD中,可将当前影像拍下以JPEG格式储存
※ 自动寻边,自动捕捉
※ XY可移动平台:可转动X、Y轴向,前后左右移动桌面,避免用手移动工件,造成检测误差
※ 辅助对焦:使画面达到清晰度
※ 自动对焦:电脑自动判断影像的清晰面。